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    半導體特氣檢漏儀

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    半導體特氣檢漏儀特點:
    ¬   于檢測半導體特氣的微量泄漏。
    ¬   采用聲光報警。
     
    半導體特氣檢漏儀規(guī) 格
    型       號
    XP-703D
    檢測對象氣體
    半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
    檢測原理
    型半導體式
    采樣方式
    自動吸引式
    可檢測濃度
    (單位:ppm)
    砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣
    AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2
    0.2     0.3     0.1        0.5        1.0
    檢測表示
    蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
    應答速度
    10秒以內
     
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